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2噸每小時EDI純化水系統(tǒng)半導(dǎo)體超純水方案
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(1)設(shè)備產(chǎn)水水量:預(yù)處理≥5噸/小時,一級反滲透純水產(chǎn)量≥3.0噸/小時;二級反滲透純水產(chǎn)量≥2.4噸/小時;EDI產(chǎn)水量≥2噸/小時。 (2)回收率:預(yù)處理95%;一級70%;二級80%;EDI90%; (3)設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)標準: 滿足實驗室Ⅱ級純水水質(zhì)標準,電導(dǎo)率<1.0μs/cm,總有機碳(TOC)含量小于50ppb以及細菌含量低于1CFU/ml。其水質(zhì)可適用于多種需求,從試劑制備和溶液稀釋,到為細胞培養(yǎng)配備營養(yǎng)液和微生物研究。這種純水可雙蒸而成,或整合RO和離子交換/EDI多種技術(shù)制成,也可以再結(jié)合吸附介質(zhì)和UV燈。 目前世界上比較通用的純水標準主要有以下幾個:國際標準化組織(ISO),美國臨床病理學(xué)會(CAP)試藥級用水標準,美國測試和材料實驗社團組織(ASTM),臨床試驗標準國際委員會(NCCLS),美國藥學(xué)會(USP)等。同時,我國也有相應(yīng)的純水標準:中國國家電子級超純水規(guī)格GB/T 11446-1997和中國國家實驗室用水規(guī)格GB/T 6682-2008等。 (4)設(shè)備占地面積:10*5*3.5m(長*寬*高) (5)設(shè)備電力需求: AC380V±5%,50HZ,85-100kw,3P+1N (6)設(shè)備供水要求:≥5噸/小時(可通過配置原水箱解決供水量不足問題) 工藝流程 原水(DN40)→進水電動閥→原水箱→原水泵→砂濾器→炭濾器→阻垢系統(tǒng)→保安過濾器→ 一級高壓泵→一級RO膜組3.0噸/H→二級高壓泵→PH調(diào)節(jié)裝置→二級RO膜組2.4噸/H→EDI泵→EDI系統(tǒng)→EDI純水箱→純水泵→用水管道入口(DN25)→ 分配系統(tǒng) →用水點1、2 |